手机浏览器扫描二维码访问
第1099节（第1页）
“了不起啊，小陆，你们了不起啊。”
沙领导满意道：“我记得是7年前还是8年前，也是在这里，你让我看的是65nm干式光刻机，还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机，我本来以为要花10年甚至更长的时间，没想到你给了我们一个大大的惊喜啊！这么快让你们搞出来了！”
“哪里，哪里，领导。”
陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
“说说吧，到底是怎么搞出来的？”
沙领导眼里满是赞赏之色。
“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳，我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
陆飞笑道：“duv浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
顿了顿，“可以说，这台duv浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的euv光刻机，只有一代的代差了。”
“生产7nm的良品率是多少？”
郑韩脸上挂着得意的笑容。
毕竟，如此国之重器出自张江技术园区，沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70％，慢慢调试改进，可以达到80％。”
陆飞比比画画道：“完全可以比肩amsl，只用4个光罩、4次曝光，就可以达到7nm制程工艺。”
沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗？”
陆飞点了下头，“没错，7nm是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5nm。”
“5nm是不是就需要euv光刻机了？”
郑韩好奇道。
“有euv光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7nm、5nm，但没有euv光刻机也无妨，有这台duv浸润式光刻机也可以做到。”
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“喔？”
顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。
“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
“还有良率。”
“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
领导们来回分析，议论纷纷。
陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前euv光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
“比如呢？”
沙领导投去问询的目光。
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
陆飞直说道：“amsl、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给amsl、尼康，但绝对不会出口给我们。”
然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了duv浸润式的物镜系统，至于euv的，恐怕需要很长一段时间。”
尚夏 她是白月光女配 末世万物进化：开局豢养数万猛虎 天幕直播预告天灾后 非典型攻略 仙途凡修 神棍小少爷靠捉鬼名动京城 侯爷他拒绝火葬场 谍战：从军统崛起 病爱摇篮曲（，现代，含父女） O总裁捡了个奶狗A后 【02】患难之交 阴间快递，取件往里请 穿成摄政王，被疯批反派圈养了 弟弟（农村） 江总监想吃回头草 修罗殿之战神归来 造人就能变强，打造最强不朽神族 求鸾/清冷驸马竟是白切黑 古穿今幼崽被主角团宠啦
琴帝
九叠琴音震寰宇，谁敢闻言不识君？七色魔法代等级，雄雄揭大幕。琴之帝王，给这片大陆带来翻天覆地的改革。伴随着旷古绝今的赤子琴心的出现，一代琴魔法师，在碧空海之中悄然诞生。这将是一个单纯的少年，逐渐成为琴中帝王的故事，开创音乐魔法的先河，颠覆以往的设定，赤橙黄绿青蓝紫，彩虹等级将成为所有武技和魔法衡量的标准。原本仅仅是...
光芒万丈不及你
...
金刚不坏大寨主
内练一口九阳气，外练一身金刚骨，金背九环刀在手，挥手间滚滚头颅落地。大寨主江大力雄壮之极的身躯静坐在雕花梨木大椅上，虎皮大衣下满是鼓凸强健的肌肉，坚硬，霸...
名门艳旅
...
太古剑尊
并指青云，气吞幽冥。大道交错，剑者独尊。这是一个人和一把剑的故事！红尘三千丈，琉璃染天香。群雄共逐鹿，剑尊掌苍黄。剑的真谛，万年之秘，以血海无涯重铸登天之路，以亿万枯骨再炼剑道经书。一切尽在太古剑尊。...
我本无意成仙
我本他乡客，无意成仙。深山修道二十年，师父让宋游下山，去见识妖魔鬼怪，人生百态，去寻访名山大川，传说中的仙，说那才是真正的修行。没有想到，走遍大江南北，仙人竟是我自己。...