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&esp;&esp;1992年3月
&esp;&esp;新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
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&esp;&esp;全彩会议室
&esp;&esp;今天开会来的人特别全,因为公司到了一个新的节点。
&esp;&esp;在会议桌中央,摆放着几块104寸的tft-lcd样品。这几块样品,是用产线设备跑出来的。lcd生产线,终于彻底跑通了一次。
&esp;&esp;当然了,这个跑通,不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题,良率问题。但剩下的事情相对就好办了,大家慢慢磨时间吧。
&esp;&esp;“样品给骆师姐送去了吗?”
&esp;&esp;“送去了,她们的电路板已经准备得差不多了,估计过两天,成品就会送回来。”
&esp;&esp;会议室的众人,都对第一块可以显示图案的lcd成品,期盼着。
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&esp;&esp;会议的重点,永远都是良率问题。
&esp;&esp;odf工序,被引入以后,按理说tft-lcd的良率,不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。
&esp;&esp;光电虽然没有晶圆的生产经验,但led的生产经验不算少了。但实际情况,并非如此,lcd的尺寸,实在是太大了。
&esp;&esp;“小成,你那边的五次光刻技术,是否成熟了?”
&esp;&esp;王青山是产线调试的技术负责人,从现在开始,产率,良率的问题,主要就是他的事情了。
&esp;&esp;“怎么了?”
&esp;&esp;“产品的良率不足,也跟现在tft的加工工序次数过多有关系。”
&esp;&esp;tft的加工工艺,与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻,成膜,清洗,涂光阻胶,曝光,显影,烘干,蚀刻,去光阻胶,检查,都要走一遍。
&esp;&esp;目前的tft加工工艺,采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻,才能完成加工。
&esp;&esp;而在晶圆芯片的加工过程中,几十次的光刻,是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多,总成品率就越低。
&esp;&esp;“小成,如果你有好的技术,就赶紧拿出来吧。”
&esp;&esp;白学成也在一边加入了战团,进行劝说。
&esp;&esp;“好吧。”
&esp;&esp;成永兴犹豫了一下,但还是妥协了。这个技术,他是准备保留到下一代的。在历史上,五步光刻法,要过几年才会出现。
&esp;&esp;会议很快就转向了其它议题。
&esp;&esp;例如国产原料的送检等。但这些不影响主要进度。
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