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工件台又一次加热硅片,给工件做了一次坚膜,加固已经保留的光刻胶,进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。
坚膜完成之后,硅片被再次从头开始,开始了第二次的光刻流程,用的还是那块标准掩模。
显影完成后,二次光刻的光刻胶被固化,多余部分被清除,硅片被送到了显微镜下。
刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来,马娟就语带欣喜的啊了一声。
“师兄,有了有了,能看出来,精度好高啊!”
马娟一边瞄着显微镜,一边嘴里喊着。
对于套刻精度高这一点,高振东是有所预计的,决定套刻精度的主要就是工件台,而三轧厂的一帮老师傅大发神威,将工件台的定位精度搞到了1.5μm。
而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到,这两者结合起来,套刻精度绝对差不了。
不过估计归估计,在没看到真正结果那一天,谁都不敢彻底把心放下来。
听见马娟的话,高振东哈哈大笑:“来来来,我看看。”
马娟从显微镜下让开,高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外,显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛,但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看,急着往视场里看去。
显微镜里,两次光刻的痕迹非常明显,一条叠在另一条上面,重合度非常高。
两次光刻的痕迹,两边各露出来一小部分,这部分的单边宽度,基本上就是套刻误差了,粗粗看去,目测连整个线宽的一小半都不到。
“好!太好了!马娟,你们选取一些典型点位,要覆盖到整个硅片,马上做个比较全面的测量比较。”
另外一个试验人员走了上来,和马娟一起,一边找点,一边测量,一边记录。
时间的相对论在这里体现得淋漓尽致,马娟她们觉得时间过得很快,而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。
又快又慢的一段时间过去后,试验人员在计算机面前坐下来,开始将数据输入计算机,这种简单统计分析,他们都是直接在源代码里敲数据。
处理算法的C代码早就写好了,现在他们就是在往一个数组里填数据而已。
这种办法,好就好在处理算法可以随时根据需要修改。
键盘声啪啪作响,现场人员的心情反而安定下来,从刚才他们测量中报的数来看,这个结果差不了。
随着最后一个数据输入完毕,马娟启动了编译-运行指令。
算法过于简单,没有带来任何调试上的麻烦,很快,屏幕上就跳出了一个数字。
编过临时程序的人都懂,怎么简单怎么来,这个数字甚至不带任何单位。
“1.97”。
其实小数点后一位就够了,那个没有写出来的单位,是μm。
2μm!
虽然早有所料,但是当这个数字跳出来的时候,高振东还是哈哈大笑了起来。
“哈哈哈……好!太好了!”
这个套刻精度,已经超出了当前所需,PMOS套刻次数少,其实不严格的说,10μm的分辨率下,5μm的套刻精度都是够用的。
现在,高振东可以直接宣布,我们的第一代PMOS工艺集成电路,线宽是10μm。
这个线宽听起来不咋样,但是举个例子就知道它的用处了,DJS-59的原型,那片金色的C8008,它的工艺就是10μm-PMOS!那一小片芯片上,晶体管数量是6000+。
而首个4Kbit(512Byte)的DRAM,工艺是8μm-NMOS,虽然是NMOS,但是并不意味着只有NMOS才能用于和NMOS的最大区别是开关方向相反,而且NMOS开关速度比PMOS要快2.5倍左右。
但是这是61年,PMOS慢点又不是不能用。
可惜那两片芯片出现的时候,高振东还没法锁定兑换的能力,但是这没有关系,还是那句话,行业初期,主打一个简单凑合能用就行,设计的核心难度不大。
DJS-59的晶体管的电路,其实基本上和C8008内是一模一样的,现在高振东要做的,就是把这个结构还原到光刻掩模上去。
不过这是个力气活儿,高振东一个人是搞不成的,太浪费时间了,这个事情,可就落在京城工大这一届的部分大四学生头上了。
原本高振东的考虑是光刻机不敢太乐观,初期预计是50μm左右,后来看到三轧厂的老师傅和东北光学所如此给力,才把SZ61XXX系列芯片头三片改为了20μm。
现在扎扎实实的10μm有望,那不得乐死,就算得先教半年学生,再画上个一年两年的图,那也是一个字儿——值!
而且有了这些基础,能搞的事情,可就多了,比如自动化人的最爱——单片机。
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